HELIUM MASS SPECTROMETER LEAK DETECTION DEVICE
| 工作真空度 | 8×10⁻³ Pa |
|---|---|
| 极限真空度 | 3×10⁻⁵ Pa |
| 压升率 | 0.042 Pa/h |
| 本底泄露率 | 5×10⁻¹¹ Pa·m³/s |
| 生产效率 | 10 min/批 |
HELIUM PRESSURE-FILLING DEVICE
| 极限压力 | 0.75 MPa |
|---|---|
| 抽空时间 | 2 分 52 秒 |
| 工作真空度 | 10 Pa |
| 极限真空度 | 5×10⁻¹ Pa |
HYDROGEN FURNACE
氢气炉是以高纯氢气 / 氢氮混合气作为气氛的高温热处理炉，核心靠氢气隔绝氧化、主动还原、快速导热三大特性，完成普通空气炉、氮气炉做不了的精密高温加工。
炉内持续通氢气置换空气，形成无氧密闭环境，钨、钼、铜、镍、硬质合金等高温下不会起皮、发黑、生锈。可彻底清除工件表面、粉末颗粒内部氧化层，还原出洁净活性金属表面，水蒸气随气流排出，工件出炉光亮无氧化皮。
氢气导热远优于氮气、氩气，炉内热场均匀，升温 / 冷却速度快，缩短生产周期，晶粒更细小均匀，材料性能更好。适合对表面洁净度、致密度要求极高的精密零件。
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| 炉型 | 单室、立式 |
|---|---|
| 有效工作区 | φ500×600 mm |
| 最高炉温 | 1300 ℃ |
| 工作炉温 | 室温 - 1200 ℃ |
| 压升率 | 0.24 Pa/h |
| 控温精度 | 0.1 ℃ |
| 炉温均匀性 | 4.7 ℃ |
VACUUM DEPOSITION FURNACE
真空沉积炉是真空镀膜设备。真空气相沉积是利用热蒸发或辉光放电、弧光放电等物理过程，在基材表面沉积所需涂层的技术。镀层材料广泛，可以各种金属、合金、氧化物、氮化物、碳化物等化合物镀层，也可以镀金属、化合物的多层和复合层；镀层结合力强；工艺温度低，工件一般无受热变形或材料变质的问题；镀层成分准确、组织致密；工艺过程由电参数控制，易于控制、调节；对环境无污染。
可用于机械摩擦件：汽车（活塞、活塞环、轴、气门摇臂、喷油器、挺杆）、液压机械（进气阀、闸门旋塞）、医疗器械（人造骨膜、手术器械）、纺织（线导套）等精密机械零件。
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| 炉型 | 单室、立式 |
|---|---|
| 有效工作区 | φ500×550 mm |
| 本体真空度 | 4.5 Pa |
| 压升率 | 0.5 Pa/h |
HIGH VACUUM DEGASSING EQUIPMENT
高真空除气设备，也叫真空脱气炉、高温高真空烘烤除气炉，依靠高温 + 超高真空双重作用，把金属、陶瓷、电子件内部吸附 / 溶解的气体、水汽、油污挥发物彻底脱附抽走。
不锈钢、钛合金、铜钼、航空锻件内部会吸附氢气，成品易出现裂纹、气孔、疲劳失效；真空高温把氢彻底析出，是核电、航空、真空器件必备预处理。工件在空气中会吸附水、CO₂、N₂、H₂、油脂挥发物；高真空加热彻底脱附，避免后续焊接、镀膜、封接时放气产生气泡、虚焊、膜层针孔。
粉末冶金、陶瓷、粘接件的脱模剂、粘结剂、碳杂质高温分解气化并抽走，提升致密度与洁净度。电子管、真空腔体、半导体载片、质谱 / 电镜零部件必须先除气，装机后腔体不会持续放气，维持长期高真空稳定。
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| 炉型 | 单室、卧式 |
|---|---|
| 温度均匀性 | 2.6 ℃ |
| 压升率 | ≤ 0.082 Pa/h |
| 极限真空度 | 7.7×10⁻⁵ Pa |
| 工作真空度 | 8×10⁻⁴ Pa |
HIGH VACUUM ANNEALING FURNACE
真空退火炉，主要适用于不锈钢拉深件如水暖器材、水胀件、销、医疗器械、不锈钢钉、不锈钢镙丝、压铆件、不锈钢轴承、表壳、表带、刀具、微型轴、自攻自钻、餐具等不锈钢制品在保护气氛控制下进行连续光亮退火、固溶、退磁及不锈钢淬火处理的多用炉。
炉体为卧式/立式，单室，水平装料结构方式，前后可双开门。开启炉门方式按用户需求设置。根据使用温度可以选用石墨、高温不锈钢、镍络带、钼带、坦带等加热材料。主要用于高速钢、高合金工模具钢、超高强度钢、不锈钢等材料的光亮退火等。
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| 炉型 | 单室、卧式 |
|---|---|
| 有效工作区 | φ500×600 mm |
| 极限真空度 | 3.0×10⁻⁵ Pa |
| 工作真空度 | 5.0×10⁻⁴ Pa |
| 压升率 | 0.07 Pa/h |
VACUUM BRAZING FURNACE
真空钎焊炉主要用于要求质量高的产品和易氧化材料的焊接。真空钎焊炉包括具有圆筒形侧壁和门的压力容器，门的尺寸和位置设计成可封闭圆筒形侧壁的一端。工件处理系统安装在压力容器门上，用来支承金属工件进行热处理或钎焊。工件处理系统包括使工件在处理过程中转动的装置。真空系统可连接到工件，使工件内部的压力在钎焊过程中低于大气压。
主要适用于高合金钢、磁性材料、不锈钢、钛合金、有色金属等材料的真空高温钎焊。
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| 炉型 | 单室、卧式 |
|---|---|
| 有效工作区 | φ1200×1200 mm |
| 额定装炉量 | 800 Kg |
| 压升率 | 0.11 Pa/h |
| 最高温度 | 1300 ℃ |
| 工作温度 | 室温 - 1200 ℃ |
| 极限真空度 | 5.4×10⁻⁴ Pa |
| 工作真空度 | 3.7×10⁻³ Pa |
VACUUM SINTERING FURNACE
真空烧结炉是指在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热方式比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等。真空烧结炉是利用感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型，可以归属于真空烧结炉的子类。
真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下，利用中频感应加热的原理使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体实现烧结的成套设备，是为硬质合金、金属镝、陶瓷材料的工业生产而设计的。主要适用于硬质合金、陶瓷材料、粉末注射成型、磁性材料、多孔材料等的真空烧结。可选择立式底装料结构。
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| 炉型 | 单室、卧式 |
|---|---|
| 有效工作区 | 400×400×600 mm |
| 额定装炉量 | 200 Kg |
| 压升率 | 0.3 Pa/h |
| 最高温度 | 1600 ℃ |
| 工作温度 | 室温 - 1500 ℃ |
| 极限真空度 | 5.0×10⁻⁴ Pa |
| 工作真空度 | 5.0×10⁻³ Pa |
VACUUM EQUIPMENT PARTS & ACCESSORIES
可根据客户图纸要求、客户技术指标、现场测绘等方式，为客户真空设备定制相关配件，如：真空加热室、换热器、法兰、电极等。配套设施如：循环水系统、水路系统、电路系统安装等。
多层金属保温层圆形加热室，采用高温不锈钢、镍材、钼材等材料，保温层层数与尺寸可按客户需求定制。
加热室炉内安装作业，保温层、加热带现场组装与调试，保障热场均匀与密封可靠。
炉体热屏蔽层与内胆结构，多层不锈钢 / 钼屏蔽层设计，有效降低热损失。
立式炉加热室内部结构，中心工作区与环绕保温层一体化设计，适配立式炉型。
陶瓷绝缘子固定式电阻加热元件，沿加热室圆周均匀布置，热场均匀、使用寿命长。
箱式（方形）加热室，带开门结构，适用于大型工件与批量装载的真空热处理设备。
铜翅片管换热器，用于真空系统高温气体冷却，换热效率高，出厂前进行气密试验。
螺旋铜盘管冷却器，法兰连接安装，可按客户图纸与工况定制规格尺寸。
VACUUM PUMPING UNIT
真空机组是多台真空泵串联 / 并联 + 阀门、真空计、管路、PLC 控制柜、保护组件集成的成套抽真空系统。
核心逻辑：罗茨泵（增压主泵，不能单独直排大气）+ 前级泵（旋片 / 水环 / 螺杆 / 涡旋）组合，分段抽气，兼顾抽速与极限真空。
主要技术指标均可以根据客户需求订制。
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